华纳创新亮相第二届MEMS与传感器产业创新领航大会

2026-05-29 16:06
随着人工智能、物联网、新能源汽车等新兴应用场景加速落地，MEMS与传感器作为感知世界的核心基础器件，正迎来前所未有的市场机遇与技术变革。

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5月28日，以“感聚生态·智链未来”为主题的MSC第二届MEMS与传感器产业创新领航大会在湖北孝感隆重开幕。本次大会由孝感高新技术产业开发区、武汉产业创新发展研究院主办，武创院高端芯片产业协同创新枢纽、武汉飞恩微电子股份有限公司、湖北省精密制造产业技术研究院承办，汇聚了来自全国各地的行业专家学者、企业代表及省市有关部门领导近500人，共同探讨MEMS与传感器产业的技术创新与未来发展。

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华纳创新总经理胡运兴受邀出席并发表主题演讲——《超临界CO₂干燥设备在MEMS芯片领域的应用》，与业界同仁分享华纳创新在MEMS后道工艺关键装备领域的技术积累与实践成果。
研究表明，超临界CO₂干燥设备是MEMS后道工艺的关键设备。MEMS器件含大量微纳悬臂、薄膜、腔体等精细结构，湿法刻蚀或清洗后，常规干燥会因液—气界面表面张力导致结构坍塌、粘连或变形。临界点干燥利用CO₂在31℃、7.38MPa临界点时表面张力为零的特性，实现无损干燥，确保MEMS器件微观结构完整、良率可控。

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华纳创新总经理胡运兴在会上发表主题演讲

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华纳创新展位


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