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HIMATIC-450 临界点干燥仪
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产品详情
品牌：HARVENT
型号：HISMART-450
产品特点：LCD触屏控制，全自动操作，慢速充液功能
样品室尺寸：4.5“（内径）*1.25”（深）
样品室容积：326ml
设备尺寸：60.5cm(宽)*80.3cm(深)*126.7cm（高）
温度压力范围 ：0℃~40℃ | 0~2500psi
使用环境：无尘室，普通实验室
操作模式：手动模式，全自动模式，循环模式
标准配置：
1. SS316 不锈钢柔性高压 LCO2 进液管线，3.0 m（无尘室）（其他长度可根据要求订做，最长可达30 米）
2. 外置 LCO2 两级过滤装置（去油/水及 0.5μm 以上颗粒物）
3. 用于吹扫、排气、放空的防静电管线
4. 备用样品室密封环（3），样品室灯泡（1）
5. 样品室内环 4", 3", 2", 1.25"，可适配不同直径晶圆
6. HF 相容晶圆架 4", 3", 2"及 10mm 方形样品架，每个支架最多可放置 5 片晶圆或样品
7. 安装工具
8. 用户说明书及数据表
9. 一年质保及终生免费技术支持